北京科仪---技术公司-检漏设备-电力中高压真空箱检漏设备

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---质谱检漏仪的校准方法

---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标,通过实验,总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。

---质谱检漏仪原理:

---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不

---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。

---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准,本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。

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---质谱检漏仪行业应用

质谱仪又称质谱计。分离和检测不同同位素的仪器。即根据带电粒子在电磁场中能够偏转的原理,按物质原子、分子或分子碎片的差异进行分离和检测物质组成的一类仪器。质谱仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪。按分辨本领分为高分辨、中分辨和低分辨质谱仪;按工作原理分为静态仪器和动态仪器。

---气,是一种稀有气体,英文名为helium,元素符号为he,电力真空箱检漏设备,原子序数2。为无色无味的惰性气体,化学性质不活泼,一般状态下很难和其它物质发生反应。常温下,---气是一种极轻的无色、无臭、无味的单原子气体。是所有气体中难液化的,是不能在标准---压下固化的物质。液化后温度降至2.174k时,具有表面张力很小、导热性很强、黏度极低等特殊性质。利用液态---可以得到接近零度的低温

---质谱检漏仪(helium mass spectrometerleakdetector)为气体工业名词术语,用---气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,充气柜真空箱检漏设备,因而易通过漏孔并易扩散;另外,---系惰性气体,不腐蚀设备,故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对---气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。





---质谱检漏仪的原理

---质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束,以一定能量注入质分析器,

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

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