




北京科仪真空技术有限公司生产---质谱检漏仪,今天科仪的小编就大家来分享一下---质谱检漏仪的标准器的选择,希望对大家有所帮助!
标准器 采 用 渗 --- 型 标 准 漏 孔,漏 率 标 称 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) pa·m3 /s,不确定度不大于 10% 。
精密玻璃温度计,测量范围(0 ~ 50) ℃ ,不确定度 u = 0. 04℃ ,k = 2。
---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理,实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,检漏设备,泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后,由于---质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
真空法---质谱检漏
采用真空法检漏时,电力中高压电力环网柜真空箱检漏设备,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气,当被检产品表面有漏孔时,---气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入---质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹---气,可以实现漏孔的准确定位; 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来,在罩内充满一定浓度的---气,可以实现被检产品总漏率的测量。
---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,充气柜检漏设备,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度p1 优于200 pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当p1降至20 pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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