真空箱检漏系统

---质谱试漏仪工作原理

---质谱检漏仪是根据质谱学原理，用---气作探索气体制成的气密性检测仪器．其灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的---气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径

r ——离于偏转轨道半径（cm） b ——磁场强度（t）

m/z ——离子的质（量）／（电）荷比（正整数）

u ——离子加速电压（v）

由上式可知，当 r、b 为定值时，改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

---气怎么检漏？

利用---气是比氢气小的第二轻的惰性气体，---气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入---气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有---气在管道外部。这就是管道中---气检漏的方法。

对于一些高的精尖的细小电子元件，---气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满---气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有---气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留---气吹扫干净之后，真空箱检漏系统，再利用质谱仪检测元件表面泄露的---气。看到这里大家得注意，---气的价格不菲，进行一次---气检漏的费用自然不低。

---气怎么检漏，---气检漏就是利用了---气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中，利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的---气。检测时首先探测到---气的点，得到---气的水含量，再利用色谱仪计算出氢气、氧气、c02气体等杂质。---检漏有两种工艺，一种是背压法，另一种则是真空箱法。