主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，六---硫空箱测漏设备，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，充气柜真空箱测漏设备，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让---离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上，收集放大器收集---离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。
---质谱检漏仪（helium mass spectrometerleakdetector）为气体工业名词术语，充气柜测漏设备，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，测漏设备，---系惰性气体，不腐蚀设备，故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对---气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
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