




---质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束,以一定能量注入质分析器,
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
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采用背压法检漏时,密封性检漏系统,首先将被检产品置于高压的---气室中,浸泡数小时或数天,如果被检产品表面有漏孔,---气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中,使内部密封腔中---分压力上升。然后取出被检产品,将表面的残余---气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内,被检产品内部密封腔内的---气会通过漏孔泄漏到真空容器,再进入---质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率,需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。此外,每个测量漏率都对应两个等效标准漏率,在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏。
电力行业
sf6高压开关和氧化锌避雷器是发电厂及野外输变电的重要组成部分,往往因泄漏造成大面积或局部停电,影响工业生产,又妨碍人们的正常生活。因此带来的---有时是难以估量的。
1)高压开关在连箱是铝铸件,往往容易有砂眼,且漏孔结构复杂,不易清洗。一般采用检漏盒或---罩法,即把被检件抽真空,然后向罩内充入---气,等待一定时间,确定总漏率的大小。因---气的用量小,检测灵敏度就高。
2)氧化锌避雷器,是根据电压高低要求,采用不同截面积、不同厚度和不同数量的氧化锌片,装在瓷套中,充入氮气后密封。其工作原理是在高压输出中如遇雷击,氧化锌片电阻变小,大电流对地短路,输电线路被保护。如果泄漏造成内外没有压差,外部潮湿气体有可能进入,而破坏氧化锌片特性,造成爆1炸。
3)电力行业中,电厂的检漏、高压变压器、高压电容器、高压开关管及其它元器件也都相应的采用---质谱检谱检漏仪,用不同方法进行检漏。
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