




在填充检漏气体之前,有---快速测试是否有大的泄漏。对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。如果样品能够保持抽空压力,则表明没有大的泄漏孔,可以填充泄漏检测气体。
如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试,那么---气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。因此,在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。

1、---气的轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,---测漏设备,因此响应快,检漏灵敏度高。
2、---离子质荷比小,高压柜---测漏设备,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶---离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,真空箱式---测漏设备,使质谱室中---离子通过的各个缝隙,从而提高---离子的传输率。
3、---在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中---气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。

并预先根据环境中---的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的
位置,可以通过对可yi位置喷---并检验漏率是否有明显的上升来完成。
与抽真空方式相反,嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的---的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定---气,
封闭测试端口,将嗅---头连接至检漏仪,用嗅---头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升,便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是,由于嗅探方式是通过检测器壁外的---来进行测量的,---中的---会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除,但仍会降低嗅探方式的灵敏度(嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10-6pa·l/s,而抽真空方式的小于5×10-10pa·l/s)。
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