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真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,pvd,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,---测漏设备,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果---,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。

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氢气检漏法在制冷、空调的应用和展望今天,在各地许多制冷、空调客户正在使用各种不同型号的氢气检漏仪。基于其在处理环境中背景氢气浓度方面所拥有的技术,氢气检漏仪具有非常---的敏感度和测量指示。氢气检漏仪可以为您带来传统检漏无法满足的更灵活的检漏解决方案。例如:客户可以先使用压降法检查是否存在泄漏,之后再使用氢气检漏仪查找出泄漏位置。客户也可以直接使用氢气检漏仪进行高灵敏的检漏以避免温度变化带来的对压降法检漏的影响。现代的检漏方法如果被测工件不适合与水接触,或者检测环境中存在温度的影响,真空箱式---测漏设备,或者被测工件是弹性体而导致无法使用水泡法和压降法检测时,采用氢气检漏法是一种较高的选择。

在各种检漏应用场合中,氢气检漏法的出现为您带来了的性能和效率的---提高机会。氢氮混和气检漏法已在---广泛应用于制冷、空调、汽车零部件、发动机、变速箱、减速机、阀门、---包装、飞机油箱油路及其他密封件或管路检漏。氢气检漏法检测灵敏度高、节约成本、操作简便,将是以后检漏技术的发展趋势。

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真空设备检漏

听音法

气体从小孔中喷出时,会发出声音。声音的大小和频率取决于泄漏率的大小、两侧的压力、压差和气体的种类等。根据气体漏出时发出的声音判断有无泄漏。

该方法的灵敏度很大程度上受环境的影响。若工厂噪音较大,则小的声音就不易听清。使用听诊qi,某种程度上可以消除周围噪音的影响,听清泄漏声音,但有时与泄漏无关的声音(例如电机的声音)也会混杂进来,从而影响检漏灵敏度。为了辨别较小的声音,可用话筒和放大器将声音放大。但此时其它声音也同时放大,多数情况下较难收到好的效果。在检测压力为0.3mpa,周围非常安静的条件下,可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。

这种方法既简单、经济。使用听诊qi,在某种程度上可以判断出泄漏点。如单凭耳朵听,往往因声波的反射或吸收,很难确定泄漏点,即发声地点。由于检测环境条件不同,所得到的结果可能偏差很大。因此,这种方法的稳定性和---性很差。应与其它检测法并用。

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