




---质谱检漏仪实际上可以说是一个检---仪,通过检测---气的含量来确定是否有泄漏。而对---的检测则使用的是质谱仪,是只检测---的质谱仪,这种质谱仪将其它数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,电力柱真空箱---测漏设备,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
一个真空系统(或容器)要求做到绝dui不漏气是不现实的,也是没有---的,所以就要根据真空系统实际应用的具体条件,对漏率指标提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足够小,使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强,这些漏孔就是允许的。真空系统正常工作所能允许的做大漏气量,称da允许漏率,简称允许漏率。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标,也是检漏的依据。
如果已知允许的总气载,而没有具体指明究竟有多大,那么,在设计合理的前提下。da允许漏率q漏=0.1q总,不同真空系统所允许的总漏率也不同。
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听音法
气体从小孔中喷出时,会发出声音。声音的大小和频率取决于泄漏率的大小、两侧的压力、压差和气体的种类等。根据气体漏出时发出的声音判断有无泄漏。
该方法的灵敏度很大程度上受环境的影响。若工厂噪音较大,则小的声音就不易听清。使用听诊qi,某种程度上可以消除周围噪音的影响,听清泄漏声音,但有时与泄漏无关的声音(例如电机的声音)也会混杂进来,从而影响检漏灵敏度。为了辨别较小的声音,可用话筒和放大器将声音放大。但此时其它声音也同时放大,多数情况下较难收到好的效果。在检测压力为0.3mpa,周围非常安静的条件下,可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。
这种方法既简单、经济。使用听诊qi,在某种程度上可以判断出泄漏点。如单凭耳朵听,往往因声波的反射或吸收,很难确定泄漏点,即发声地点。由于检测环境条件不同,所得到的结果可能偏差很大。因此,这种方法的稳定性和---性很差。应与其它检测法并用。
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