流量计-流量计厂家-科仪---真空有限公司

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流量计产品特点

产品特点,本产品集成触摸显示屏,流量计厂家,可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等,操作方便,实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。





流量计

流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿),将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器,放大后的值和通过显示屏设置的流量值进行比较,用比较值控制调节阀开度,本设备从比较到控制的时间非常短,流量计公司,满足了及时性和准确性的要求。本设计对产品的安装角度和位置不敏感,无需反复校准调零,

本设备可以通过触摸屏设置气体总量,在设定流量下通过时间参数自动计算气体总量,流量计原理,当气体总量达到设定值时,调节阀立即关闭。

本设备可以通过触摸屏设置气体种类,气体的种类必须和所测气体一致,每一种气体的各项性能不尽相同,选对气体种类是进行流量和总量控制的前提。





流量计使用方法

用户通过气管和接头将气源和本设备的气体进口连接。气源的压力必须在规定的范围内(0.1~1mpa),用同样的方法连接设备出口和用气部位。然后接通电源,流量计,在显示屏选择气体的种类,设置流量和气体总量,设置完成后设备自己校准并执行设定值开始工作。相关数值可以通过显示屏查看,或者通过数据线以 4-20ma或者 rs485 协议与控制终端连接上传数据。可以使用随机配送的数据线连接査看的相关信息。(客户需要在订货时确认需要的信号输出接口类型)





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