1、---气的轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。
2、---离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶---离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，包膜式---测漏设备，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中---离子通过的各个缝隙，从而提高---离子的传输率。
3、---在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中---气也很少，因此本底压力小，真空箱式---测漏设备，检漏时本底信号小。
（1）检漏仪：采用上述工作原理制造的氢气检漏仪，由于氢气的上述性质，其灵敏度可以达到与---检相同水平。（2）示踪气体充注控制器：对于批量生产的用户，---测漏设备，好采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作，可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。
氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏，高压柜---测漏设备，称作氢氮混合气检漏法，或氢气检漏法。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的（iso10156），---性和腐蚀性，也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素，有着很多的优点。
---质谱检漏仪实际上可以说是一个检---仪，通过检测---气的含量来确定是否有泄漏。而对---的检测则使用的是质谱仪，是只检测---的质谱仪，这种质谱仪将其它数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
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