柜---测漏系统

真空设备检漏

设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器，

其测量工作原理如下。---质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用---气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让---离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集---离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。

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氢冷汽轮发电机

氢气中含氧量很少，低于2％，不助燃，即使发电机内部发生短路故障，也不会有着火的危险，从而可使故障损坏程度大为减轻。

在氢气中，噪音较小，而且绝缘材料不易受氧化和电晕的损害。

缺点是一旦于空气混合后在一定比例内(4％～74．2％)具有---的特性，所以发电机外壳都设计成防爆型，气体置换采用c02作为中间介质。

氢气纯度分析仪

可实时监测氢气、co2的纯度。气体置换时主要通过气体纯度监测装置的样气进口来监控气体纯度；量程气进口只在置换时用，柜---测漏系统，可实时调看供氢纯度或供co2纯度。参比空气进口为调试时用。纯度仪回气排空

工作原理：

仪器由特殊设计的风机，压差交送器及压差计组成，实际则是风机产生的压差，但由于此压差值与气体的密度有关，而气体密度又直接与气体的成分成比例，故只要测出风机压差就等于测出了气体密度，实际上两只压差计是直接按密度和纯度标注的。

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