自动检漏回收系统

背压法---质谱检漏

采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的---气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，---气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中---分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余---气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的---气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。

背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。

背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。

背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏。

---质谱检漏仪

---质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。---质谱检漏仪是根据质谱学原理，用---气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的---气相互碰撞使其电离成正离子，这些---离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷---法、吸---法是---质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。

今天和大家分享的是---质谱检漏仪的操作方法，希望对大家有所帮助！