北京科仪---公司-真空箱系统检漏-系统检漏

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---质谱检漏法

---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理,实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后,由于---质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。






---质谱检漏仪的进展

经过近半个世纪的努力,今天的---质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

集中体现在如下几个方面:

(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

(2)高压强下检漏:检漏口压强可---数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。

(3)自动化程度高:自动校准---峰,自动调节零点,sf6真空箱系统检漏,量程自动转换,自动数据处理,六---硫充气柜真空箱系统检漏,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

(4)全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。

(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,范围很宽,不仅可检测---气,而且能检测其它气体。

分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,系统检漏,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。

例如:瑞士、日本采用改变分子泵转---达到此目的,且提高检漏灵敏度。

另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸检漏提供了---的条件。








---质谱检测仪的标准器选择

北京科仪真空技术有限公司生产---质谱检漏仪,今天科仪的小编就大家来分享一下---质谱检漏仪的标准器的选择,希望对大家有所帮助!

标准器 采 用 渗 --- 型 标 准 漏 孔,漏 率 标 称 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) pa·m3 /s,sf6充气柜真空箱系统检漏,不确定度不大于 10% 。

精密玻璃温度计,测量范围(0 ~ 50) ℃ ,不确定度 u = 0. 04℃ ,k = 2。






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