天津流量控制器原理

流量计产品特点

产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

流量计概述

在气体流量的测量应用中，流量计是一种常见的测量仪器。流量计(mfm，mass fiow meter)，是一种准确测量气体流量的仪表。流量控制器(mfc:mass flow controller)集成 mfm 及控制阀门，不但具有流量计的功能，还能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。流量控制器作为稳流装置，可以手动设定或与计算机连接进行的气体稳流自动控制。