科仪---技术有限公司----质谱检漏系统-检漏系统

---质谱试漏仪工作原理

---质谱检漏仪是根据质谱学原理，用---气作探索气体制成的气密性检测仪器．其灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的---气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，电力中高压真空箱检漏系统，轨道半径

r ——离于偏转轨道半径（cm） b ——磁场强度（t）

m/z ——离子的质（量）／（电）荷比（正整数）

u ——离子加速电压（v）

由上式可知，当 r、b 为定值时，改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

真空法---质谱检漏 

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入---质谱检漏仪，充气柜检漏系统，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹---气，可以实现漏孔的准确定位； 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的---气，可以实现被检产品总漏率的测量。

真空法的优点是检测灵敏度高，电力真空箱检漏系统，可以准确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

真空法的缺点是只能实现一个---压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。

真空法的检测主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。