---质谱检漏仪实际上可以说是一个检---仪，包膜式---测漏设备，通过检测---气的含量来确定是否有泄漏。而对---的检测则使用的是质谱仪，是只检测---的质谱仪，这种质谱仪将其它数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
并预先根据环境中---的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的
位置，可以通过对可yi位置喷---并检验漏率是否有明显的上升来完成。
与抽真空方式相反，嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的---的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定---气，
封闭测试端口，将嗅---头连接至检漏仪，用嗅---头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升，便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是，柜---测漏设备，由于嗅探方式是通过检测器壁外的---来进行测量的，---中的---会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除，但仍会降低嗅探方式的灵敏度（嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10－6pa·l/s，而抽真空方式的小于5×10－10pa·l/s）。
如何判断真空系统是否存在漏气，通常采用静态升压法，即把容器抽到一定压强后，关闭阀门将被抽容器与泵隔开，若容器漏气或材料放气，容器中的压强将随时间而上升。用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强，可得出压强/时间曲线。由于容器的漏气与出气情况不同，其曲线也不同
1.直线a
压强不随时间变化，说明系统即不漏气，也不放气。真空度上不去的原因是泵工作---。
2.直线b
压强期初上升很快，而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡，---测漏设备，这说明容器没有漏气。真空度上不去的原因主要是放气的影响。因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低，故曲线渐趋向于平衡。
3.直线c
是一斜率为δp/δt的直线。这说明只有漏气而没有放气。
4.曲线d
开始压强上升较快，而后渐渐减慢，后变成斜率为δp/δt的直线。这说明容器即有放气也有漏气。曲线d可以认为是b和c的叠加。如果出现曲线c和d的情况，则判定系统有漏气。
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