自动检漏回收系统

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北京科仪创新真空技术有限公司提供自动检漏回收系统。











---质谱检漏仪的结构和工作原理

  ---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度p1 优于200 pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当p1降至20 pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。

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---质谱检漏仪行业应用

质谱仪又称质谱计。分离和检测不同同位素的仪器。即根据带电粒子在电磁场中能够偏转的原理,按物质原子、分子或分子碎片的差异进行分离和检测物质组成的一类仪器。质谱仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪。按分辨本领分为高分辨、中分辨和低分辨质谱仪;按工作原理分为静态仪器和动态仪器。

---气,是一种稀有气体,英文名为helium,元素符号为he,原子序数2。为无色无味的惰性气体,化学性质不活泼,一般状态下很难和其它物质发生反应。常温下,---气是一种极轻的无色、无臭、无味的单原子气体。是所有气体中难液化的,是不能在标准---压下固化的物质。液化后温度降至2.174k时,具有表面张力很小、导热性很强、黏度极低等特殊性质。利用液态---可以得到接近零度的低温

---质谱检漏仪(helium mass spectrometerleakdetector)为气体工业名词术语,用---气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,---系惰性气体,不腐蚀设备,故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对---气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。





---气怎么检漏?

利用---气是比氢气小的第二轻的惰性气体,---气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入---气。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有---气在管道外部。这就是管道中---气检漏的方法。

对于一些高的精尖的细小电子元件,---气怎么检漏呢?将要检测的元件放入充满---气的容器中并且加压。在压力的作用下,自动检漏回收系统,如果这些元件存在漏点,必然会有---气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留---气吹扫干净之后,再利用质谱仪检测元件表面泄露的---气。看到这里大家得注意,---气的价格不菲,进行一次---气检漏的费用自然不低。

---气怎么检漏,---气检漏就是利用了---气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中,利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的---气。检测时首先探测到---气的点,得到---气的水含量,再利用色谱仪计算出氢气、氧气、c02气体等杂质。---检漏有两种工艺,一种是背压法,另一种则是真空箱法。




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