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真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,pvd,半导体外延等等),真空箱式---检漏设备,需要在真空条件下工作,板式换热器---检漏设备,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果---,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,---检漏设备,甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。

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氢气检漏设备

(1)检漏仪:采用上述工作原理制造的氢气检漏仪,由于氢气的上述性质,其灵敏度可以达到与---检相同水平。(2)示踪气体充注控制器:对于批量生产的用户,好采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作,可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。

氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏,称作氢氮混合气检漏法,或氢气检漏法。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(iso10156),---性和腐蚀性,也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素,有着很多的优点。






氢气系统的组成

氢冷系统主要由氢气汇流排(供氢系统)、---汇流排(供---系统)、---蒸发器(加热器)、氢气控制装置、氢气干燥器(氢气去湿装置)、循环风机、发电机绝缘过热监测装置(发电机工况监测装置)、发电机漏液检测装置和发电机漏氢检测装置(气体巡回检测仪)组成 。氢气系统的功能是利用干燥的氢气对发电机转子绕组和定子铁芯进行冷却;在机组起动前或停止运行后利用中间介质置换机内气体。




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