---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
---质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，---质谱检漏仪可达1000pa（一般常规检漏仪为0.05pa以下），适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，汽车空调检漏设备，灯丝---等优点。
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（1）电子行业
微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、---起博器。
（2）真空行业，仪器、仪表行业
管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加1速器、加1速器、辐照加1速器、镀膜机、薄膜真空计。
（3）核工业
---分离装置、存储装置、核发电装置。
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1、对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验；
2、对被检工件抽真空；
3、对被检工件充注---气；
4、真空箱法---质谱检测，自动判断工件漏率合格与不合格；
5、回收并循环使用---气；
6、如果---气浪费---，可以将使用过程中浓度不合格的---气进行提纯
7、plc控制，触摸屏操作，自动检测。
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