柜---测漏系统

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    2024-4-28

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北京科仪创新真空技术有限公司提供柜---测漏系统。











真空设备检漏

听音法

气体从小孔中喷出时,会发出声音。声音的大小和频率取决于泄漏率的大小、两侧的压力、压差和气体的种类等。根据气体漏出时发出的声音判断有无泄漏。

该方法的灵敏度很大程度上受环境的影响。若工厂噪音较大,则小的声音就不易听清。使用听诊qi,某种程度上可以消除周围噪音的影响,听清泄漏声音,但有时与泄漏无关的声音(例如电机的声音)也会混杂进来,从而影响检漏灵敏度。为了辨别较小的声音,可用话筒和放大器将声音放大。但此时其它声音也同时放大,多数情况下较难收到好的效果。在检测压力为0.3mpa,周围非常安静的条件下,可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。

这种方法既简单、经济。使用听诊qi,柜---测漏系统,在某种程度上可以判断出泄漏点。如单凭耳朵听,往往因声波的反射或吸收,很难确定泄漏点,即发声地点。由于检测环境条件不同,所得到的结果可能偏差很大。因此,这种方法的稳定性和---性很差。应与其它检测法并用。

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氢气检漏

油雾法


油雾法的测试尘源为油雾,“量”为含油雾空气的浊度,以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。

德国规定使用石蜡油,油雾粒径为0.3~0.5微米。油雾法在检测过滤器时,容易对过滤器造成损伤,且不能直接读值,浪费时间。

dop法

这种方法曾经是国际上测试过滤器海绵常用的方法。

它的测试尘源为0.3微米单分散相---二---二辛酯(dop)液滴,也称为“热dop”,“量”为含dop空气的浑浊程度。

将dop液体加热成蒸汽,蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴,去掉过大和过小的液滴后留下0.3微米左右的颗粒,进入风道,通过测量过滤器前后气样的浊度,并由此判断过滤器对0.3微米粉尘的过滤效率。









真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,pvd,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果---,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。

以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多 氢气检漏的知识,欢迎拨打图片上的热线联系我们。






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