主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让---离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上，收集放大器收集---离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。
---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
---气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，六---硫空箱检漏设备，临界温度为5.25k，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，1l液---气化为标准状态下的---气体积为700l。
规定的瓶装---气按纯度高低分别为工业用---、纯---、高纯---三种。
1、工业用---：---含量***99%，露1点≤43℃.
2、纯---分三级：优等品---含量***99.995%；一等品---含量***99.993%；合格品---含量***99.99%。
3、高纯---分为三级：优等品---含量***99.9996%；一等品---含量***99.9993%；合格品---含量***99.999%。
---气在---质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用---，即---含量***99%，露1点≤43℃。
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