




---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标,通过实验,总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
---质谱检漏仪原理:
---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不
---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准,本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。
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---质谱检漏仪(helium mass spectrometerleakdetector)为气体工业名词术语,用---气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,---系惰性气体,不腐蚀设备,故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对---气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理,实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后,由于---质谱检漏仪的选择性识别能力,六---硫充气柜真空箱测漏设备,仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
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