测漏系统-电力中高压真空箱测漏系统-北京科仪---

---气检漏的基本功能（部分功能可选配）

1、对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验；

2、对被检工件抽真空；

3、对被检工件充注---气；

4、真空箱法---质谱检测，自动判断工件漏率合格与不合格；

5、回收并循环使用---气；

6、如果---气浪费---，可以将使用过程中浓度不合格的---气进行提纯

7、plc控制，触摸屏操作，自动检测。

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---质谱检漏仪的结构和工作原理

　　---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，测漏系统，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，充气柜测漏系统，当真空度p1 优于200 pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，充气柜真空箱测漏系统，---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当p1降至20 pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。

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