---气穿透能力强，且易，对漏点有---的检出能力，可让细微小洞无处可逃。---气检漏就是采用---气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为---原子的尺寸很小。用---气穿过小洞而进入到管壳内部，---气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法---，但要比性检漏方法简便。---气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满---气的容器中，并加压，让---气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留---气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的---气。
油雾法
油雾法的测试尘源为油雾，“量”为含油雾空气的浊度，以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。
德国规定使用石蜡油，油雾粒径为0.3~0.5微米。油雾法在检测过滤器时，新能源汽车锂电池动力电池包真空箱---检漏设备，容易对过滤器造成损伤，且不能直接读值，浪费时间。
dop法
这种方法曾经是国际上测试过滤器海绵常用的方法。
它的测试尘源为0.3微米单分散相---二---二辛酯(dop)液滴，也称为“热dop”，“量”为含dop空气的浑浊程度。
将dop液体加热成蒸汽，蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下0.3微米左右的颗粒，进入风道，通过测量过滤器前后气样的浊度，并由此判断过滤器对0.3微米粉尘的过滤效率。
可实时监测氢气、co2的纯度。气体置换时主要通过气体纯度监测装置的样气进口来监控气体纯度；量程气进口只在置换时用，可实时调看供氢纯度或供co2纯度。参比空气进口为调试时用。纯度仪回气排空
工作原理：
仪器由特殊设计的风机，压差交送器及压差计组成，实际则是风机产生的压差，但由于此压差值与气体的密度有关，而气体密度又直接与气体的成分成比例，故只要测出风机压差就等于测出了气体密度，实际上两只压差计是直接按密度和纯度标注的。
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