---质谱检漏仪实际上可以说是一个检---仪，通过检测---气的含量来确定是否有泄漏。而对---的检测则使用的是质谱仪，是只检测---的质谱仪，这种质谱仪将其它数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
氢系统氢气纯度、压力、湿度，除设有防爆型就地指示和报警装置外，还应设置输出模拟量到远方dcs显示参数及报警输出接点。
发电机冷氢温度高不超过49.5℃。氢冷却器冷却水设计温度为38℃。
氢气纯度不低于95％时，空调---测漏系统，不影响发电机的---出力。当计算和测定发电机效率时的基准氢气的纯度应为98％。
发电机机壳和端盖，能承受压力为2倍额定氢压时历时15分钟的水压试验，以---运行时内部氢爆不危及人身安全。
采用闭式循环冷却水系统，水源为化学除盐水，氢气冷却器水侧设计压力为1.0mpa，试验水压为1.5mpa。但供给氢气冷却器的水压不得高于0.4mpa。
氢气冷却器的设计能在一个冷却器因故停止使用时，至少能承担发电机80%额定容量连续运行，且发电机不超过允许温升。
电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中，为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，空调制冷真空箱---测漏系统，以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，因为选用了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气，因为液氮来源不同，空调真空箱---测漏系统，大多数较差，---测漏系统，其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外，液氮多来源于化肥厂，供应上较---，故成本也较高。
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