---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理，实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后，由于---质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，六---硫充气柜真空箱测漏设备，下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
---质谱检漏仪是现在比较常用的检测仪器，那么在使用过程中我们又遇到哪些问题呢？今天科仪的小编就和大家来一起总结一下！
一、为什么用---气作为示踪气体？其他气体可以吗？（1）在空气中含量低(只有5 ppm)，电力中高压电力环网柜真空箱测漏设备，环境本底低
（2）惰性气体不易1燃，不易1爆对环境没有污染，不与其他物质反应，可以混合到任意浓度
（3）---，可以用在食品工业
（4）在质谱仪谱图中易于与其他物质区分
（5）比空气轻，运动速度快
（6）气体分子很小，可以穿过微小的泄漏孔
（7）其它气体也可以
二、喷---检漏的注意事项。
（1）被测系统应尽量清洁，干燥，无油
（2）如果测量条件发生变化（温度），需要重新对检漏仪做内部较准
（3）---气比空气轻，喷---法检漏应注意方向
（4）尽量不要使用密封脂（油脂会大量吸附---气）
（5）不要向环境释放大量---气
（6）真实的漏率信号应当是快速上升的信号，相对缓慢下降的信号
三、漏率（leak rate）
在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。
注：采用国际单位制时，漏率单位为：pa?m3/s。
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---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，sf6真空箱测漏设备，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度p1 优于200 pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，测漏设备，当p1降至20 pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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