---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以一定能量注入质分析器，sf6真空箱检漏设备，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
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漏率的温度修正
标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ，所以如果实际环境温度和标准漏孔---中温度不一致，需要将标准漏孔---中漏率和标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下:
方法一: 将标准漏孔---中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔---中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；
方法二: 将标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔---中环境温度下，用标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。
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