六---硫充气柜真空箱检漏系统

用---气作为---质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全---；价格低。

质谱检漏仪通常选择---气作示踪气体，主要原因如下：

1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、---的小（相对分子为4），易于穿过漏孔。这样，---较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3、---是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4、在---两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与---相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找---峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的---离子通过，提高了仪器灵敏度。

5、---在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使---信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能（如小、易通过漏孔）比---还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底---且波动大，以致灵敏度---降低，所以很少采用。

科仪生产---气检漏仪，如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询，科仪竭诚为您服务！

采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与---气源相连，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入---质谱检漏仪，六---硫充气柜真空箱检漏系统，从而实现被检产品总漏率的测量。

真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。

真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求---充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。

真空压力法的检测主要应用于结构简单、压力不是---高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。

---质谱检漏仪的校准方法

---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。

---质谱检漏仪原理:

---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不

---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。

---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。

科仪拥有的技术，我们都以为本，信誉高，我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。如果您对---检漏感兴趣，欢迎---左右两侧的在线，或拨打咨询电话。