---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度p1 优于200 pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当p1降至20 pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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利用---气是比氢气小的第二轻的惰性气体，---气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入---气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有---气在管道外部。这就是管道中---气检漏的方法。
对于一些高的精尖的细小电子元件，---气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满---气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有---气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留---气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的---气。看到这里大家得注意，---气的价格不菲，进行一次---气检漏的费用自然不低。
---气怎么检漏，---气检漏就是利用了---气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中，利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的---气。检测时首先探测到---气的点，得到---气的水含量，再利用色谱仪计算出氢气、氧气、c02气体等杂质。---检漏有两种工艺，一种是背压法，另一种则是真空箱法。
真空压力法---质谱检漏
采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与---气源相连，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。
真空压力法的优点是检测灵敏度高，充气柜真空箱检漏系统，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。
真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求---充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。
真空压力法的检测主要应用于结构简单、压力不是---高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
充气柜真空箱检漏系统由北京科仪---真空技术有限公司提供。北京科仪---真空技术有限公司坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支高素质的员工队伍，力求提供---的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。科仪---真空——您可---的朋友，公司地址：北京市昌平区南口镇科仪---真空技术，联系人：通总。
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