六---硫空箱检漏系统-科仪---真空

---质谱检漏仪的进展

经过近半个世纪的努力，今天的---质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

集中体现在如下几个方面：

（1）便携式：近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可---数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

（3）自动化程度高：自动校准---峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

（4）全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，范围很宽，不仅可检测---气，而且能检测其它气体。

分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。

例如：瑞士、日本采用改变分子泵转---达到此目的，且提高检漏灵敏度。

另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸检漏提供了---的条件。

---质谱检漏仪的优点

科仪——土---检漏供应商，我们为您带来以下信息。

北京科仪真空技术有限公司是国内新兴的一家从事真空领域的---企业。仪产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；真空环境模拟设备等---产品。如您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询，科仪竭诚为您服务！今天小编就和大家分享一下---质谱检漏仪的优点。

1.采用便携式设计

2.设备外型美观小巧

3.采用液晶触摸屏设计

4.有通讯接口

5.可以方便地将检漏数据输出