电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中，为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，因为选用了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮，燃料电池冷却水套---检漏设备，其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气，因为液氮来源不同，大多数较差，其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外，液氮多来源于化肥厂，供应上较---，故成本也较高。
一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况---，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。
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---质谱检漏仪实际上可以说是一个检---仪，通过检测---气的含量来确定是否有泄漏。而对---的检测则使用的是质谱仪，是只检测---的质谱仪，这种质谱仪将其它数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
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