sf6真空箱测漏设备-测漏设备-北京科仪---

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什么是---质谱检漏仪

---质谱检漏仪品牌浅析什么是---质谱检漏仪

---质谱检漏仪---的广泛的市场应用,测漏设备,此款---质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款---质谱检漏仪坚固---,抗震性能极强,可反复使用数年仍---的检漏漏率。---质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。---质谱检漏仪主要特点:前级泵配备抽速---15 m3/h 旋片泵,对---气抽速可达 2.5l/s,---质谱检漏仪 asm 340 对---气的蕞小检测漏率:

真空模式:5 · 10-13 pa m3/s

吸的模式:5 · 10-10 pa m3/s

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---质谱检漏仪测量数据处理

漏率的温度修正

标准漏孔漏率易受温度变化影响,温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ,真空箱测漏设备,所以如果实际环境温度和标准漏孔---中温度不一致,需要将标准漏孔---中漏率和标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算,并在测试结果中加以说明,六---硫充气柜真空箱测漏设备,修正方法如下:

方法一: 将标准漏孔---中的漏率修正至实际环境温度下,用标准漏孔---中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值;

方法二: 将标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔---中环境温度下,用标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。

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---质谱检漏仪的检漏方式

---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。





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