---质谱检漏仪（helium mass spectrometerleakdetector）为气体工业名词术语，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，---系惰性气体，不腐蚀设备，充气柜真空箱检漏设备，故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对---气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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1、关键零部件集优采购，---了系统的稳定性和---性；
2、真空箱内---气本底抑零，---了检漏的准确性、；
3、特有的清---系统，---地清除超标的---本底，---检测的稳定性和准确性；
4、实时监测---气压力和浓度，---了工件检测的精度；
5、可对使用过程中产生的浓度不合格---气进行提纯，---降低---气损耗（功能可选）；
6、可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；
7、定制的的密封接头，，减少误判。
8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数，监控一目了然。
9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，---了系统的操作安全及---运行。
今天和大家分享的是---气检漏的主要参数及优势，希望对您有所帮助！
随着科技的迅猛发展，---质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的---质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新---质谱检漏仪的性能特点发现，---质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等方向发展，这些特点---地满足了当前检漏应用的需求，也---的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。---质谱检漏仪的基本原理与结构---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。
机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
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