




---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
---质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高,---质谱检漏仪可达1000pa(一般常规检漏仪为0.05pa以下),六---硫充气柜真空箱测漏系统,适合检大型容器或有大漏的器件,也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染,灯丝---等优点。
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北京科仪真空技术有限公司生产---质谱检漏仪,今天科仪的小编就大家来分享一下---质谱检漏仪的标准器的选择,希望对大家有所帮助!
标准器 采 用 渗 --- 型 标 准 漏 孔,充气柜测漏系统,漏 率 标 称 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) pa·m3 /s,不确定度不大于 10% 。
精密玻璃温度计,测量范围(0 ~ 50) ℃ ,不确定度 u = 0. 04℃ ,k = 2。
---质谱检漏仪是根据质谱学原理,用---气作探索气体制成的气密性检测仪器.其灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡,与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的---气相互碰撞使其电离成正离子,这些离子在加速电场作用下进入磁场,充气柜真空箱测漏系统,由于洛伦兹力作用产生偏转,测漏系统,形成圆弧形轨道,轨道半径
r ——离于偏转轨道半径(cm) b ——磁场强度(t)
m/z ——离子的质(量)/(电)荷比(正整数)
u ——离子加速电压(v)
由上式可知,当 r、b 为定值时,改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
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