---质谱检漏仪（helium mass spectrometerleakdetector）为气体工业名词术语，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，---系惰性气体，不腐蚀设备，故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对---气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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水检和---检两种检漏方法的分析
目前，水检和---检两种检漏方法国内汽车空调两器检漏主要的方法，下面将分析两种检漏方法的优缺点。
1.1 传统水泡法检测分析
水泡检漏法，属于检测精度要求不高的粗检漏，就是将被检工件充入一定压力的干燥压缩空气或者是氮气，然后放入水中，观察是否有气泡从被检工件中跑出来，电力中高压电力环网柜真空箱测漏设备，如果有，则说明漏，而且---什么位置泄漏，一般只确定被检件是漏还是不漏，而不需定量。但并不是说气泡检漏就不能定量。在某些情况下，气泡检漏也可以定量。检出气泡的漏率与气泡直径、气泡形成速率、充气的种类有关。
因此，对于空调两器检漏来说，采用水检方法，灵敏度较低。受人为因素影响，漏判误判率会明显增加。另外，工件水检后，外表面有水，需烘干处理，电力环网柜真空箱测漏设备，耗电多，耗费劳动力也多。但水检法也有优点，就是操作简单直观，而且能够查找漏点位置。
1.2 ---质谱检漏方法分析
---质谱检漏是以---作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。
---质谱检漏法有优点在于：---是惰性气体，对---无污染，使用安全；---原子小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。---气在---中含量小（5ppm），不易受干扰。---质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广。
目前国内生产---质谱检漏仪较小可检漏率可达到5.0×10-13 pa·m3/s。目前，---比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法。
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（1）便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
（2）高压强下检漏：检漏口压强可---数百帕左右，测漏设备，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
（3）自动化程度高：自动校准---峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。---质谱检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
（4）全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，范围很宽，不仅可检测---气，而且能检测其它气体。
---质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。检漏仪在使用过程中，往往会因为产生的一些故障或是现象，而影响检漏工作的正常进度，sf6充气柜真空箱测漏设备，若对其---还会危及检漏仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的，掌握和了解---质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。
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