---质谱检漏仪原理的---质谱检漏仪特点：
1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；
2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；
3.不会受到主观因素判断的影响；
4.检测的数据；
5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。
---质谱检漏仪进展的集中体现在如下几个方面：
（1）便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
（2）高压强下检漏：检漏口压强可---数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
（3）自动化程度高：自动校准---峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
（4）全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，范围很宽，不仅可检测---气，而且能检测其它气体。
---质谱检漏仪能为不同的应用提供广泛的测试方法，含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面，以及可选功能组件。---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。
今天和大家分享的是---质谱检漏仪的相关知识，希望对您有所帮助！
---质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是:检漏灵敏度高，可以检漏到10-11pam3/s 数量级，仪器响应快，---分子在仪器高真空的环境中扩散的速度---;所以---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在导1弹武1器装备中也离不开检漏，导1弹弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到---质谱检漏，本文主要真对---质谱检漏原理及方法进行综述。
真空箱法---质谱检漏的充气回收检漏系统
1．配置与气路控制
真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。
工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：---气储存罐(高压罐)，---气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、plc系统(可编程逻辑控制器)，充---回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，电力真空箱检漏设备，对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、v4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭v1，打开v2
2)、充---系统通过v2对工件进行充---至核定的压力，稳定，关闭v2
3)、关闭v4，打开v3、v5，处在正常工作状态待命的---质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断v3、v5，打开v2对---气进行回收。
4)、关闭v2打开v6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的---气回收，对真空箱和管道巾的---气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的---分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。
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