真空箱测漏系统

---质谱检漏仪的注意事项

检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射---气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。

检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上---气在真空系统中的传递时间，即为两次喷---的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。笔者根据实测经验，两次喷---的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷---后30s内检漏仪还没有反应，则可进行第二次喷---。

清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对---的吸附和脱附作用的影响，清除时间一般要更长些。笔者---，在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时，清除时间在3分钟左右。

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---质谱检漏仪的结构和工作原理

　　---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度p1 优于200 pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当p1降至20 pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。

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