科仪---技术有限公司-测漏系统-六---硫空箱测漏系统

---质谱检漏仪的进展

经过近半个世纪的努力，今天的---质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

集中体现在如下几个方面：

（1）便携式：近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可---数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

（3）自动化程度高：自动校准---峰，自动调节零点，量程自动转换，六---硫充气柜真空箱测漏系统，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

（4）全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，范围很宽，不仅可检测---气，而且能检测其它气体。

分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，充气柜真空箱测漏系统，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。

例如：瑞士、日本采用改变分子泵转---达到此目的，且提高检漏灵敏度。

另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸检漏提供了---的条件。

---质谱检漏仪

北京科仪真空技术有限公司是国内新兴的一家从事真空领域的---企业。

---质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。---质谱检漏仪是根据质谱学原理，用---气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

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