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---质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。---质谱检漏仪是根据质谱学原理，用---气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
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---气检漏仪是---质谱检漏仪((helium mass spectrometer leak detector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其中心部件质谱室，使不同的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收1器接收所有这些离子，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，sf6真空箱检漏设备，这就是质谱。
用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。测量气体分压力的所有质谱计，如四极质谱计、射频质谱计、飞行时间质谱计、回旋质谱计等都可以用于检漏。
专门设计的以---气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为---质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外，还具有适应范围广、定位定量准确、---、安全、反应速度快等优点。---质谱检漏仪中用得较多的是90°和180°的磁偏转型质谱仪。
众所周知，当一个带电质点（正离子）以速度v进入均匀磁场的分析器中，如果速度v的方向和磁场h的方向相垂直，则它的运动轨迹为圆，如图1所示。当磁场的磁通密度一定时，不同质荷比（m/e）的离子在磁场中都有相应的运输半径，也就是都有相应的圆轨迹，这样，不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉，而在对应的---离子运动半径位置的档板上开一狭缝，狭缝后安置离子接收极，这样的只有---离子才能通过狭缝而被接收极接收形成---离子流，并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时，如果用---气喷吹漏孔，---气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。
---质谱检漏仪是根据质谱学原理，用---气作探索气体制成的气密性检测仪器．其灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的---气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径
r ——离于偏转轨道半径（cm） b ——磁场强度（t）
m/z ——离子的质（量）／（电）荷比（正整数）
u ——离子加速电压（v）
由上式可知，当 r、b 为定值时，改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
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