测漏设备-电力真空箱测漏设备-北京科仪---公司

用---气作为---质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全---；价格低。

质谱检漏仪通常选择---气作示踪气体，主要原因如下：

1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），六---硫充气柜真空箱测漏设备，在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，测漏设备，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、---的小（相对分子为4），易于穿过漏孔。这样，---较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3、---是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4、在---两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与---相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找---峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的---离子通过，真空箱测漏设备，提高了仪器灵敏度。

5、---在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使---信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能（如小、易通过漏孔）比---还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底---且波动大，以致灵敏度---降低，所以很少采用。

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---质谱检漏仪常用检漏方法及标准

---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理，实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后，由于---质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。

真空法---质谱检漏

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹---气，可以实现漏孔的准确定位; 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的---气，可以实现被检产品总漏率的测量。