




---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理,实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后,由于---质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
利用---气是比氢气小的第二轻的惰性气体,---气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入---气。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有---气在管道外部。这就是管道中---气检漏的方法。
对于一些高的精尖的细小电子元件,---气怎么检漏呢?将要检测的元件放入充满---气的容器中并且加压。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有---气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留---气吹扫干净之后,再利用质谱仪检测元件表面泄露的---气。看到这里大家得注意,---气的价格不菲,进行一次---气检漏的费用自然不低。
---气怎么检漏,---气检漏就是利用了---气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中,利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的---气。检测时首先探测到---气的点,得到---气的水含量,再利用色谱仪计算出氢气、氧气、c02气体等杂质。---检漏有两种工艺,一种是背压法,另一种则是真空箱法。
真空箱法---质谱检漏的充气回收检漏系统
1.配置与气路控制
真空箱:一般为双工位,两个不锈钢真空箱,开门装置可采用液压方式,或加配重的手动方式。
工件抽空系统:低真空泵及阀门,低真空测量充氮与回收系统:---气储存罐(高压罐),---气回收取罐(低压罐),主压缩机,辅压缩机,过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统:为自动控制型,由面板、plc系统(可编程逻辑控制器),充---回收系统,真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计,同时,实施对整个系统的工作控制,对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、v4,泵系统对工件和真空箱抽真空,如果限定的时间内抽到限定的真空度,此时,电气控制系统关闭v1,打开v2
2)、充---系统通过v2对工件进行充---至核定的压力,稳定,关闭v2
3)、关闭v4,打开v3、v5,处在正常工作状态待命的---质谱检漏仪进行检漏,如果不漏,电气控制系统指挥关断v3、v5,打开v2对---气进行回收。
4)、关闭v2打开v6对真空箱放气,开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件,检漏仪声光报警,将:工作内的---气回收,对真空箱和管道巾的---气通过清洁泵抽除,免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的---分流作用,电力中高压真空箱检漏设备,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。
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