




选择示漏气体(示踪气体)的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低;检漏仪对示漏气体的灵敏度高;它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全---;价格低。
质谱检漏仪通常选择---气作示踪气体,主要原因如下:
1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少(在空气中约含5.2ppm),在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、---的小(相对分子为4),易于穿过漏孔。这样,---较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。
3、---是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,不会污染被检件,使用安全。
4、在---两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与---相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找---峰时,不易受其他离子的干扰,因此就降低了对分析器制造精度的要求,易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的---离子通过,提高了仪器灵敏度。
5、---在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使---信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能(如小、易通过漏孔)比---还好,然而由于氢一方面有易1爆危险,另一方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产生大量的碳和氢,使氢本底---且波动大,以致灵敏度---降低,所以很少采用。
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---质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体---气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器,用于检漏的一种检测技术,它的检漏灵敏度可达10-14~10-15pa?m3/s,可以准确确定漏孔位置和漏率。---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端,充气柜测漏系统,入口接在分子泵和机械泵之间,利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点,---气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室---气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场,在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性,偏转半径各不相同,在挡板的作用下,---检漏仪的收集板只允许带正电的---离子被接收到,单位时间到达收集板的---离子对应于一个电流信号,这个电流信号正比于进入到达收集板---离子的数量,电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上,其大小反映了泄漏点的漏率,通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。
---质谱检漏仪的示踪气体选用---气,是因为---气具有以下优良特性:
---气在空气中的含量少,体积含量为5.24×10-6,如果---气在环境中的含量超过标准,可以比较容易地探测到极微量的---气;
---分子小、轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除;
---离子荷质比小,易于进行质谱分析;
---气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤任何设备;
---气---,不凝结,极难容于水。
今天科仪小编和大家分享的是---质谱检漏的工作原理,希望对您有所帮助!
---质谱检漏仪原理的---质谱检漏仪特点:
1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;
2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;
3.不会受到主观因素判断的影响;
4.检测的数据;
5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。
---质谱检漏仪进展的集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可---数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准---峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,范围很宽,不仅可检测---气,而且能检测其它气体。
---质谱检漏仪能为不同的应用提供广泛的测试方法,含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面,以及可选功能组件。---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。

充气柜测漏系统由北京科仪---真空技术有限公司提供。北京科仪---真空技术有限公司在行业设备这一领域倾注了诸多的热忱和热情,科仪---真空一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场,衷心希望能与社会各界合作,共创成功,共创。相关业务欢迎垂询,联系人:通总。
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