




(1)内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2),位于隔热板的上方:检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到---震动,此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5 年以上时,有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
(2)定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,因检漏仪内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时定位难度较大。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将---源吹散至各个密封环节,造成定位不准确。喷吹时,要严格控制---源的流量,尽量采用喷咀流量小的喷,提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s,所以在一个部位喷吹的时间约3 s,再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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---质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体---气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器,用于检漏的一种检测技术,它的检漏灵敏度可达10-14~10-15pa?m3/s,可以准确确定漏孔位置和漏率。---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和机械泵之间,利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点,---气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室---气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场,在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性,偏转半径各不相同,在挡板的作用下,---检漏仪的收集板只允许带正电的---离子被接收到,单位时间到达收集板的---离子对应于一个电流信号,这个电流信号正比于进入到达收集板---离子的数量,电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上,其大小反映了泄漏点的漏率,通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。
---质谱检漏仪的示踪气体选用---气,是因为---气具有以下优良特性:
---气在空气中的含量少,体积含量为5.24×10-6,如果---气在环境中的含量超过标准,可以比较容易地探测到极微量的---气;
---分子小、轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除;
---离子荷质比小,易于进行质谱分析;
---气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤任何设备;
---气---,不凝结,极难容于水。
今天科仪小编和大家分享的是---质谱检漏的工作原理,希望对您有所帮助!
利用---气是比氢气小的第二轻的惰性气体,---气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入---气。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有---气在管道外部。这就是管道中---气检漏的方法。
对于一些高的精尖的细小电子元件,充气柜检漏设备,---气怎么检漏呢?将要检测的元件放入充满---气的容器中并且加压。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有---气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留---气吹扫干净之后,再利用质谱仪检测元件表面泄露的---气。看到这里大家得注意,---气的价格不菲,进行一次---气检漏的费用自然不低。
---气怎么检漏,---气检漏就是利用了---气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中,利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的---气。检测时首先探测到---气的点,得到---气的水含量,再利用色谱仪计算出氢气、氧气、c02气体等杂质。---检漏有两种工艺,一种是背压法,另一种则是真空箱法。
充气柜检漏设备由北京科仪---真空技术有限公司提供。“真空箱式---检漏设备,lng低温容器抽真空设备”选择北京科仪---真空技术有限公司,公司位于:北京市昌平区南口镇科仪---真空技术,多年来,科仪---真空坚持为客户提供好的服务,联系人:通总。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。科仪---真空期待成为您的长期合作伙伴!
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