




泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,pvd,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,新能源汽车锂电池动力电池包---检漏设备,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果---,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
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油雾法
油雾法的测试尘源为油雾,“量”为含油雾空气的浊度,以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。
德国规定使用石蜡油,油雾粒径为0.3~0.5微米。油雾法在检测过滤器时,容易对过滤器造成损伤,且不能直接读值,浪费时间。
dop法
这种方法曾经是国际上测试过滤器海绵常用的方法。
它的测试尘源为0.3微米单分散相---二---二辛酯(dop)液滴,也称为“热dop”,“量”为含dop空气的浑浊程度。
将dop液体加热成蒸汽,蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴,去掉过大和过小的液滴后留下0.3微米左右的颗粒,进入风道,通过测量过滤器前后气样的浊度,并由此判断过滤器对0.3微米粉尘的过滤效率。

一个真空系统,经相当长时间抽气之后,仍然达不到预期的真空度,可能的原因有:抽气情况---,即抽气系统本身的问题。放气,即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气,即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题,即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位,以便修补堵漏。
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