sf6真空箱检漏设备-科仪---真空

---质谱检漏仪的进展

经过近半个世纪的努力，今天的---质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

集中体现在如下几个方面：

（1）便携式：近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可---数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

（3）自动化程度高：自动校准---峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

（4）全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，范围很宽，不仅可检测---气，而且能检测其它气体。

分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。

例如：瑞士、日本采用改变分子泵转---达到此目的，且提高检漏灵敏度。

另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸检漏提供了---的条件。

用---气作为---质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全---；价格低。

质谱检漏仪通常选择---气作示踪气体，主要原因如下：

1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、---的小（相对分子为4），易于穿过漏孔。这样，---较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3、---是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4、在---两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与---相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找---峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的---离子通过，提高了仪器灵敏度。

5、---在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使---信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能（如小、易通过漏孔）比---还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底---且波动大，以致灵敏度---降低，所以很少采用。

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