采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹---气，可以实现漏孔的准确定位； 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的---气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以准确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个---压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
---气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25k，sf6充气柜真空箱测漏设备，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，1l液---气化为标准状态下的---气体积为700l。
规定的瓶装---气按纯度高低分别为工业用---、纯---、高纯---三种。
1、工业用---：---含量***99%，露1点≤43℃.
2、纯---分三级：优等品---含量***99.995%；一等品---含量***99.993%；合格品---含量***99.99%。
3、高纯---分为三级：优等品---含量***99.9996%；一等品---含量***99.9993%；合格品---含量***99.999%。
---气在---质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用---，即---含量***99%，六---硫空箱测漏设备，露1点≤43℃。
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---质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业，甚至乡镇企业、个体企业，可以说应用领域极其宽广。
航空航天---工业
1）例如火箭发动机及姿态发动机，过去是---刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用---质谱检漏仪检漏，采用正压吸与---罩法结合，使检漏灵敏度---提高，从而---了发动机。火箭箭体的检漏采用正压吸、---罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。
2）km6空间环模装置设备庞大，主真空室直径12m、高22m，另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3，分系统多，结构复杂，六---硫充气柜真空箱测漏设备，各种接口焊缝相加有几千米长，采用---质谱检漏仪负压检漏，每条焊缝由检漏盒密封，配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后，充入一定压力---气，关闭预抽阀，开启检漏阀。由于盒内---浓度较高，相对检漏仪又有一定压力，因此有效提高了检漏灵敏度。
3）航天工业中，卫1星、各类阀门、电子元器件，传感器等等都在广泛应用---质谱检漏仪及其检漏技术。
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