---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
---质谱检漏仪原理:
---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，测漏设备，根据不
---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准，真空箱测漏设备，本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。
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利用---气是比氢气小的第二轻的惰性气体，---气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入---气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有---气在管道外部。这就是管道中---气检漏的方法。
对于一些高的精尖的细小电子元件，---气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满---气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有---气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留---气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的---气。看到这里大家得注意，电力中高压电力环网柜真空箱测漏设备，---气的价格不菲，进行一次---气检漏的费用自然不低。
---气怎么检漏，---气检漏就是利用了---气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中，利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的---气。检测时首先探测到---气的点，得到---气的水含量，再利用色谱仪计算出氢气、氧气、c02气体等杂质。---检漏有两种工艺，一种是背压法，另一种则是真空箱法。
随着科技的迅猛发展，---质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的---质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新---质谱检漏仪的性能特点发现，---质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等方向发展，这些特点---地满足了当前检漏应用的需求，也---的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。---质谱检漏仪的基本原理与结构---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管，电力真空箱测漏设备，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。
机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
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