




并预先根据环境中---的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的
位置,可以通过对可yi位置喷---并检验漏率是否有明显的上升来完成。
与抽真空方式相反,嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的---的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定---气,
封闭测试端口,将嗅---头连接至检漏仪,用嗅---头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升,便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是,由于嗅探方式是通过检测器壁外的---来进行测量的,---中的---会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除,空调蒸发器真空箱---检漏设备,但仍会降低嗅探方式的灵敏度(嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10-6pa·l/s,而抽真空方式的小于5×10-10pa·l/s)。
电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中,为减少电能消耗,降低成本,都在研发和使用各种混合气。其间,以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法,因为选用了液化后再汽化的工艺,故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮,其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气,因为液氮来源不同,大多数较差,其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外,液氮多来源于化肥厂,供应上较---,故成本也较高。

检漏就是用一定的手段将示漏物质加到被检设备或密封装置器壁的一侧,用仪器或某一方法在另一侧怀疑有泄漏的地方检测通过漏孔漏出的示漏物质,从而达到检测的目的。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中,判断漏与不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置;在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化。
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