




(1)内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2),位于隔热板的上方:检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到---震动,此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5 年以上时,有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
(2)定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,因检漏仪内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时定位难度较大。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将---源吹散至各个密封环节,造成定位不准确。喷吹时,要严格控制---源的流量,尽量采用喷咀流量小的喷,提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s,所以在一个部位喷吹的时间约3 s,再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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---质谱检漏的检测精度高,可达到1×10-7pa·m3/s。电池---检前先将电池里的空气抽掉,然后注入---气,用---质谱检漏仪探测有没有---气漏出,从而判断电池的气密性是否完好。电池---检一般为两种方式:一种是在电池生产的中间环节,即在电池烘干注液之前进行检漏,电芯在真空箱内充---气及检测,此法可以检测电池盖板、盖板焊接及电芯壳体等部位的气密性是否达标;另一种是在成品环节检漏,电芯在箱外充---,电力真空箱检漏设备,电芯注入电解液的同时将---气充入电芯内部,然后将电池放入真空箱内进行检漏。
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---气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003,分子直径为2.18×10-10m,分子的为3.65×10-27kg,在标准状态下的密度为0.1769kg/m3,临界温度为5.25k,临界压力为2.26×105pa,1atm压力下的沸点为4.214k,熔点为0.9k,三相点温度为2.186k,三相点压力为51.1×10-2pa,在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k),在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k),在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s,1l液---气化为标准状态下的---气体积为700l。
规定的瓶装---气按纯度高低分别为工业用---、纯---、高纯---三种。
1、工业用---:---含量***99%,露1点≤43℃.
2、纯---分三级:优等品---含量***99.995%;一等品---含量***99.993%;合格品---含量***99.99%。
3、高纯---分为三级:优等品---含量***99.9996%;一等品---含量***99.9993%;合格品---含量***99.999%。
---气在---质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用,纯度要求不高,一般选用工业用---,即---含量***99%,露1点≤43℃。
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