sf6充气柜真空箱测漏系统

真空压力法---质谱检漏

---质谱检漏仪的检漏方式

---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

---质谱检漏仪测量数据处理

漏率的温度修正

标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ，所以如果实际环境温度和标准漏孔---中温度不一致，需要将标准漏孔---中漏率和标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下:

方法一: 将标准漏孔---中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔---中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；

方法二: 将标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔---中环境温度下，用标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。